技术指标
工作原理
主要用途
使用注意事项
GWMS系列无油超高真空机组用于抽干燥 、洁净的气体， 不能用于抽对人体有害 、易爆、 易燃或腐蚀性气体， 也不能用于抽含有化学品 、溶剂以及能生成粉末的物质， 以免由于毒气 、 爆炸 、燃烧引起人身伤害以及设备损毁。
进气温度不能高于50℃， 如果超过该温度， 必须在进气管路上安装冷却装置， 使进气温度低于50℃。
GWMS系列无油超高真空机组由复合分子泵、无油涡旋真空泵、控制阀门、电控系统、真空管路、机架等组成，用于创造无油超高真空环境。
特点
创造无油超高真空
极限真空度高，达到 2x10-5Pa
清洁无油，不污染被抽腔体
能够连续工作
7*24小时连续运行，可靠耐用
低噪音，低振动
57~67分贝，工作环境舒适健康
适合全球电源
110/220/380/460V, 50/60Hz任选
用途
半导体行业
真空镀膜-磁控溅射、激光溅射、蒸发镀膜
航空航天
空间环境模拟、材料加工处理
检测分析
加速器、质谱仪、能谱仪、扫描电镜
真空检漏
He质谱检漏
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